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ITO靶材制备方法

更新时间:11-22 09:37阅读量:5

在当下的数字时代,手机、电脑、电视、平板等科技消费产品已成为我们接收信息的一个重要视觉窗口。而它们的制作都离不开一种关键材料,那就是ITO靶材(Indium Tin Oxide,氧化铟锡)。在读懂ITO靶材之前,我们需要了解靶材这种高科技材料。

制备方法:

粉末冶金法:

混合:首先,将氧化铟(In2O3)与少量的氧化锡(SnO2)粉末按一定比例混合,这一比例直接决定了ITO靶材的最终电学性质。

球磨:混合后的粉末会进行球磨处理,以提高粉末的均匀性和反应活性,球磨时间和方式对粉末粒径和形貌有着重要影响。

压制:经过球磨的粉末随后会在高压下压制成型,成型的密度和均匀性直接影响后续烧结过程。

烧结:最后,将压制好的坯体在高温下进行烧结,高温烧结可以促使粉末颗粒之间发生固相反应,形成密实的ITO块材。

溶胶-凝胶法:

合成溶胶:选取合适的铟盐和锡盐作为原料,通过化学反应在溶剂中形成溶胶,控制反应条件可以获得高均匀性的溶胶。

老化:将形成的溶胶进行老化处理,以提高其稳定性,防止在后续的热处理过程中发生不均匀沉淀。

干燥与热解:经过老化的溶胶经过干燥,去除大部分溶剂后,通过热解除去有机物质,得到ITO前驱体粉末。

烧结:与粉末冶金法类似,将热解后的粉末进行高温烧结,得到致密的ITO靶材。


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